【兴山群星汇】李少平

【简介】李少平,男,43岁,湖北长阳人,中共党员,硕士研究生学历,化学工程专业,正高职高级工程师,全国石化行业优秀科技工作者、2019年度湖北省有突出贡献中青年专家,现为全国集成电路材料产业技术创新战略联盟副理事长、中国半导体三维集成制造产业联盟理事、湖北省半导体行业协会副会长、猇亭区人大代表、区企业联合会会长、湖北兴发化工集团股份有限公司副总经理。

【事迹】

深耕化工高端领域 填补国内技术空白

2007年至2010年,在兴发集团宜昌园区任项目经理期间,全面负责湖北省重大科技专项1万吨/年电子级磷酸联产2万吨/年食品级磷酸项目的前期研发、中期工程建设、后期生产运行工作,成功攻克电子级磷酸关键生产技术,填补国内空白。在此期间主持的“湖北兴福3万吨/年高纯磷酸工程设计”获得全国石油和化工科技进步三等奖。该项目通过多项技术改造与优化,使高纯磷酸品质远远高于初始设计要求,达到国际同等水平,并参与制定了电子级磷酸国家标准,其中“电子级磷酸制备工艺创新与应用”获得市科技进步一等奖。

专注电子级磷酸生产技术 打破发达国家技术垄断

长期以来,关键电子化学品之一电子级磷酸生产关键技术被美日韩等国家少数企业掌握并长期垄断,严重制约着我国芯片产业的发展,是亟待攻克的“卡脖子”技术。在国家科技部、发改委和湖北省重大专项的支持下,兴发集团主动承担这项技术攻关重任。李少平同志主持并组织了相关技术人员进行攻关,经过原料提纯、关键设备改造、工艺优化、过程管控等手段,将电子级磷酸产品中铁含量由设计的80ppb以下提升至现在的10ppb以下,将0.5um的particle数量由50以下提升至10以下,达到国内领先、国际一流水平,同时“工业黄磷生产电子级磷酸关键技术”获得全国石油和化工科技进步一等奖,“芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”获得2019年度国家科技进步二等奖。

攻关电子级硫酸产品质量  生产技术取得重大突破

随着集成电路向大规模和超大规模、极大规模的发展,芯片集成度越来高,晶圆表面的光刻线条越来越精细,集成电路的更新换代速度越来越快,对电子级硫酸的品质要求也越来越严格。组织技术人员历经一年多的技术攻关,成功攻克电子级硫酸金属离子浓度不稳定这一关键难题,将产品中各金属离子浓度均稳定在10ppt以内,颗粒度完全满足客户要求,产品品质已完全超越SEMI-C12级别,与国际电子化学品最大供应商巴斯夫的产品品质处于同一级别(金属离子<10ppt),达到了国内领先、世界一流的水平,电子级硫酸冲破国际高端电子化学品的技术垄断,并成功向国内12英寸晶圆厂稳定供货。

高歌猛进推陈出新  产品开发取得新进展

2016年以来,兴发集团策略性的转战集成电路混酸项目,在充分利用自产化学品优势大幅提升产品利润空间。李少平同志主持并带队,经过近两年的开发,集成电路混酸产品已有N-D药液、Spin-E药液、BM药液、M1药液等系列,均稳定应用于集成电路制造工艺中。一是为长江存储公司配套开发的HSN产品的成功应用,标志着李少平同志带领团队自主研发的3D NAND专用磷酸HSN已经可以通过添加含硅化合物将磷酸对氮化硅和二氧化硅的选择比提高至800:1;二是针对不同客户的集成电路制造工艺的异同,主持研发了蚀刻液M2、Spin D等配方,并在客户端线上成功通过验证,目前已稳定供应;三是同时开发了的硅环蚀刻液产品,样品已送往客户测试并通过。

不畏艰难险阻攻坚克难  向公司交上满意答卷

由于工作业绩突出,受到众多奖励,包括:2018年中国石油和化工科技进步一等奖、2018年全国石油和化工行业优秀科技工作者、2016年湖北省科学技术发明一等奖、2015年中国半导体创新产品和技术一等奖、2014年全国半导体设备和材料标准化工作优秀个人、2014年湖北省科技进步一等奖、2014年宜昌市科技进步一等奖、2013年兴山县科技进步一等奖、2012年中国石油和化工科技进步三等奖、2011年-2013年兴山县专业技术拔尖人才、2008年中国无机盐工业协会先进工作者、2008年-2010年兴山县专业技术拔尖人才、2006年全国无机盐行业先进科技工作者、2005年-2007年兴山县专业技术拔尖人才。